| 瑞耘科技股份有限公司的前身創立於1975年,早期從事代理半導體耗材零組件及二手半導體設備的進口業務,除提供售後服務外,並承接機台翻修業務。1998年3月瑞耘從代理蛻變成為以研發、製造及自有品牌為主軸,目標在成為半導體前段製程設備及零組件之供應商,提供國內外半導體及平面顯示器產業客戶最先進之技術整合方案。
於1999年,設立半導體前段製程設備之關鍵零組件製造廠,進行關鍵零組件之開發及製造,如上下電極、化學機械研磨零件、真空腔體翻修、靜電吸盤等,目前已成為國內半導體廠之關鍵零組件之開發和改善需求之重要夥伴,並且也是主要供應廠商之一。於2001年底,開始行銷國外,目前已獲日本、新加坡、中國大陸、澳洲、歐洲、美國客戶之訂單及肯定。陽極廠擴廠,廠房可容納TFT-LCD
5.5代電極產品,為國內第一家推出市場之最大半導體及TFT-LCD專業陽極處理生產線。
這幾年來瑞耘科技陸續完成了晶圓旋乾機(Spin Rinse
Dryer)、蒸氣乾燥機(Vapor Dryer)及研磨液供應系統(Slurry Supply
System)等設備之研發、製造和銷售。去年,2004年,瑞耘科技已具備整廠Slurry Supply System
設計及施工能力,並開始承接12”晶圓廠之相關業務。開發之方向朝向300mm之高階與先進製程,及全自動化機台。
瑞耘科技以提供高品質、先進技術及卓越的客戶服務給世界上最先進的客戶群為榮。
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