靜電吸盤的優勢

Advantages of Electrostatic Chuck
  • 可於真空環境下產生吸力
  • 無微粒
    產生
  • 高平坦度
  • 吸附力量
    均勻
  • 可控制
    溫度
  • 可用於
    多孔材料

自從2011年成功生產第一個E-Chuck至今,瑞 耘科技已經累積豐富的生產製造與 檢驗技術。透過與客戶緊密的合作與交流,我們開發出最佳化的靜電吸盤解決方案, 不僅可使用在半導體行業, 其吸附能力亦可應用在絕緣體及多種材料。











Manufacturing process

製造流程

Manufacturing Processes

所有生產製造流程皆於廠內完成以提供客戶最短交貨時間和最佳品質管控。

STEP 1

CNC 加工

STEP 2

真空硬焊

STEP 3

化學清洗

STEP 4

陽極處理

STEP 5

噴砂處理

STEP 6

電漿噴塗

STEP 7

表面研磨處理

STEP 8

功能檢測

STEP 9

清潔包裝