重要里程碑

Calitech Milestone

• 1998

  1.設立瑞耘科技股份有限公司，實收資本額新台幣300萬元。
  2.以半導體製程設備，如蝕刻(Etch)，鍍膜(CVD/PVD)，化學機械平坦化(CMP)等製程設備之零、耗件及二手翻新設備之代理銷售為主要業務。

• 1999

  1.遷址至新竹縣竹北市博愛路。
  2.開發直立式 Spin Rinse Dryer。
  3.12月現金增資2,600萬元，增資後實收資本額2,900萬元。

• 2000

  1.遷址至新竹市水源街工廠,設立Machine Shop 及陽極廠生產線。
  2.投入零組件製造及設備開發,開發Slurry Supply System及水平式SRD。

• 2001

  1.1月現金增資3,700萬元，增資後實收資本額6,600萬元。
  2.11月現金增資2,400萬元，增資後實收資本額9,000萬元。

• 2002

  1.技術轉移沛鑫半導體。
  2.成立「瑞耘半導體(上海)有限公司」。
  3.12月現金增資4,700萬元，增資後實收資本額13,700萬元。

• 2003

  1.開始拓展全球市場。
  2.遷址至湖口新竹工業區。

• 2004

  1.設立電化學實驗室。
  2.獲得ISO 9001 認證。
  3.2月現金增資5,000萬元，增資後實收資本額18,700萬元。

• 2005

  1.陽極廠擴廠(TFT G5.5)。
  2.11月現金增資1,300萬元，增資後實收資本額20,000萬元。

• 2006

  擴充7.5 代零組件加工及表面處理生產設備。

• 2007

  1.成為國際設備大廠全球合格供應商。
  2.開發Spin Coater設備。
  3.建立「大尺寸平面顯示器製程設備之關鍵零組件」製造及維修生產線。
  4.1月現金增資2,000萬元，增資後實收資本額22,000萬元。
  5.8月盈餘轉增資1,270萬元，增資後實收資本額23,270萬元。
  6.12月發行員工認股權憑證2,500單位，每單位1,000股。

• 2008

  9月盈餘轉增資1,163萬元，增資後實收資本額24,433萬元。

• 2010

  1.與國際設備大廠正式簽約合作，進入『高階製程設備關鍵零組件』的專業代工領域。
  2.設立電漿陶瓷噴塗生產線。
  3.設立精密化學清洗生產線，並通過國際客戶認證。
  

• 2011

  1.與國際設備大廠簽訂全球代工合約。
  2.開發SAT/SST 設備。
  3.8月現金增資4,000萬元，增資後實收資本額28,433萬元。

• 2012

  1.成功開發陶瓷靜電吸盤(ESC)。
  2.1月認股憑證轉增資294萬元，增資後實收資本額28,727萬元。
  3.設立真空硬焊生產線。

• 2013

  成為國際設備大廠高階產品代工廠。

• 2014

  1.陶瓷靜電吸盤(ESC)產品及濕式晶圓蝕刻機(SAT)、濕式去光阻機(SST)量產建立實績。
  2.通過TTQS銅牌獎認證。

• 2015

  1.本公司股票於104年4月24日經金管會證期局核准公開發行。
  2.本公司股票於104年5月25日經證券櫃檯買賣中心核准興櫃登錄。
  3.成功開發半導體、光電等產業高階製程之高電壓式靜電吸盤(>5000V DC)。

• 2016

  1.TFT-LCD產業貼合機使用之陶瓷靜電吸盤組件。
  2.半導體產業前後段PVD/CVD機台之單區(One Zone)加熱工件產品。
  3.取得便攜式靜電棒新型專利權。
  4.9月現金增資2,900萬元，增資後實收資本額31,627萬元。
  5.本公司股票於105年9月26日起於證券櫃檯買賣中心掛牌買賣。

• 2017

  1.高分子材料靜電吸盤。
  2.微間距導線靜電吸盤。

• 2018

  1.斥水性防蝕塗層完成開發並佈建量產。
  2.建立12吋先進ALD製程測試平台。

• 2019

  1.完成輕便可攜式靜電吸盤樣品製作。
  2.建立高抗蝕陽極處理技術。

• 2020

  1.完成垂直立銲技術開發。
  2.可彎曲靜電吸盤。
  3.發行國內第一次可轉換公司債面額為新台幣250,000仟元，109年3月18日於證券櫃檯買賣中心掛牌買賣。

• 2021

  1.完成全自動化SRD模組開發並量產。
  2.大面積高分子型靜電吸盤量產驗證。

• 2022

  1.完成新廠設備搬遷、產線建置與技術驗證。
  2.新廠通過外部認證並開始投入生產。