瑞耘科技設計與製造的陶瓷靜電吸盤產品，可應用於真空系統中保持半導體和非導體(矽晶圓、玻璃)基板的吸附。我們亦將靜電吸盤應用延伸至自動化領域，使靜電吸附功能可廣泛應用於搬運撓性材料(軟板、銅箔)，多孔材料(導線架、紡織品)，表面光滑材料(玻璃)等，以此解決傳統夾持技術的問題與困難，實現生產線自動化的目標。
庫侖式靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。陶瓷層中有夾一層導電電極層，當電極被接通到高壓直流電源後，介電質的表面會產生極化電荷，分佈在晶片背面的電荷與分佈在吸盤上面的電荷極性相反，晶片即會被吸盤吸住。
庫侖式
庫侖式靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。陶瓷層中有夾一層導電電極層，當電極被接通到高壓直流電源後，介電質的表面會產生極化電荷，分佈在晶片背面的電荷與分佈在吸盤上面的電荷極性相反，晶片即會被吸盤吸住。
當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時，稱為Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(JR ESC)。其介電質表面不僅有極化電荷，還有很大部分自由電荷，這是因為JR吸盤的介電質有一定導電性。一般來說，JR吸盤的吸力比庫侖類的大。在對晶片溫度控制要求很高的蝕刻機中，越來越多採用JR靜電吸盤。
JR型
當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時，稱為Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(JR ESC)。其介電質表面不僅有極化電荷，還有很大部分自由電荷，這是因為JR吸盤的介電質有一定導電性。一般來說，JR吸盤的吸力比庫侖類的大。在對晶片溫度控制要求很高的蝕刻機中，越來越多採用JR靜電吸盤。
