提供半導體關鍵零件的專業生產與翻修服務,特別是真空腔體裏的關鍵零件,我們的產品有 Retainer Ring, Clamp Ring, Shower Head, Chamber lid, Liners等關鍵零件,
瑞耘科技的產品供應 Etching、CVD、PVD和CMP等製程使用,產品品質符合半導體、先進封裝、III-V族半導體、微機電、發光二極體、平面顯示器等行業的製程要求
瑞耘科技擅長加工的材料有 鋁合金、不銹鋼、黃銅、特殊金屬、工程塑膠、鈦合金、矽材、陶瓷、石英、合成橡膠及複合材料等。
瑞耘長期在半導體零組件製造技術上做開發佈局,具有真空製程(Etch、CVD/PVD)等零組件製造技術,除了基本的材質選用及精密機加工外,並擁有特殊電化學表面處理、精密噴砂、電漿噴塗、真空焊接、精密清洗、功能測試技術等。均採用特殊半導體規格,以能通過高規格環境之晶圓良率要求,每一道特殊製程皆經長期改善及常態監控,以確保所有生產的零組件皆能滿足尖端客戶需求。
我們提供從原型開發到量產的機械加工解決方案,複雜的機械工件是我們的專業領域。我們結合最新的加工技術和行業領先的設計程式,提供高速金屬切削技術、模治具開發及豐富的工藝設計,為客戶提供高質量的、可重複的,成本競爭力的零組件產品。
我們電化學表面處理技術,包括陽極處理、鍍鎳、電解拋光、精密噴砂、精密清洗等。所有工件都經過作業人員嚴格檢查,並經由我們品保部門之認證,以確保我們客戶對產品的期望。
真空硬銲常被用作連接金屬或異種材料工件,為現今高階製造工業不可或缺的技術。目前製造業硬銲材料因產品應用多樣化而變得越來越複雜及困難,瑞耘科技擁有的真空硬銲爐可用於製造需要各種類型的硬銲工藝,以符合半導體規範的鋁,鈦合金金屬材料的硬銲產品及熱處理為主。
電漿噴塗陶瓷塗層被廣泛用於各種工業應用中和陶瓷靜電吸盤的應用上,以提高耐磨性、防腐性、金屬表面熱絕緣。瑞耘科技自2008年起陸續投入研發及設立電漿噴塗產線,專攻半導體級氧化釔/氧化鋁(Y2O3/Al2O3)等陶瓷為主的噴塗技術,並持續進行下一世代電漿噴塗開發技術。
自行設計和製造加工、組裝和量測能力進一步增強了我們快速回應客戶需求。我們的精密量測程序確保穩定的產品配置和性能,精密量測服務包括功能和尺寸檢查、氦氣洩漏檢查、故障分析、自動光學檢測,動平衡設計等。