關鍵零組件/製程技術

Critical Components / Process Technology
  • Critical
    Components

    關鍵零組件

    提供半導體關鍵零件的專業生產與翻修服務,特別是真空腔體裏的關鍵零件,我們的產品有 Retainer Ring, Clamp Ring, Shower Head, Chamber lid, Liners等關鍵零件,

  • Industry
    Applications

    應用領域

    瑞耘科技的產品供應 Etching、CVD、PVD和CMP等製程使用,產品品質符合半導體、先進封裝、III-V族半導體、微機電、發光二極體、平面顯示器等行業的製程要求

  • Material
    Applications

    材料應用

    瑞耘科技擅長加工的材料有 鋁合金、不銹鋼、黃銅、特殊金屬、工程塑膠、鈦合金、矽材、陶瓷、石英、合成橡膠及複合材料等。






Process technology

製程技術

Process Technology

瑞耘長期在半導體零組件製造技術上做開發佈局,具有真空製程(Etch、CVD/PVD)等零組件製造技術,除了基本的材質選用及精密機加工外,並擁有特殊電化學表面處理、精密噴砂、電漿噴塗、真空焊接、精密清洗、功能測試技術等。均採用特殊半導體規格,以能通過高規格環境之晶圓良率要求,每一道特殊製程皆經長期改善及常態監控,以確保所有生產的零組件皆能滿足尖端客戶需求。